É possível melhorar a resolução de um processo fotolitográfico (assinale a alternativa correta):

Para o tipo de equipamento litográfico empregado industrialmente, a expressão mais importante é aquela que relaciona a resolução do processo ao comprimento de onda da luz empregada e à qualidade das lentes do sistema óptico, em especial a sua abertura numérica. Essa relação estabelece que a resolução é diretamente proporcional ao comprimento de onda da luz e inversamente proporcional à abertura numérica da lente. Deve-se dar especial atenção ao fato de que a resolução é melhor quanto menor o seu valor. Texto-base - Litografia para microeletrônica (p. 11) e vídeo de apoio - Photolithography (4min10).