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Os processos de deposição física podem ser divididos em duas categorias, aqueles que dependem do aquecimento da fonte sólida de material e aqueles que dependem do bombardeamento da superfície da fonte sólida de material. Quanto a este último é correto afirmar que:
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O processo de sputtering (traduzido no português como espirramento, borrifamento ou pulverização) está descrito nos slides 21 e 22 da videoaula 6. Há uma similaridade com os processos de corrosão por plasma vistos anteriormente, só que, neste caso, em geral os gases são não reagentes, dependendo apenas da massa do íon que se choca com a superfície do alvo para se redepositar sobre a superfície de interesse. Assim, trata-se de um processo puramente físico, sem o uso de interações químicas. Vídeo 1.Fisica de semicondutores em 5:26min a 6,0min