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Referindo-se ao comportamento da concentração de dopantes obtidas por epitaxia quando se utiliza diborano (B2H6), arsina (AsH3) e fosfina (PH3), analise as afirmações abaixo: I. Quando se utiliza processos epitaxiais com diborano, a concentração de dopantes aumenta com a temperatura de crescimento e, com fosfina e arsina, a concentração de dopantes diminui com a temperatura. II. Quando se utiliza processos epitaxiais com fosfina, a concentração de dopantes aumenta com a temperatura de crescimento e, com diborano e arsina, a concentração de dopantes diminui com a temperatura. III. Quando se utiliza processos epitaxiais com diborano e com arsina, a concentração de dopantes obtida é praticamente a mesma ao se trabalhar com uma temperatura de crescimento de aproximadamente 1100oC. IV. Quando se utiliza processos epitaxiais com diborano e com fosfina, a concentração de dopantes obtida é praticamente a mesma ao se trabalhar com uma temperatura de crescimento de aproximadamente 1100oC. V. Quando se utiliza processos epitaxiais em torno de 1300oC de temperatura de crescimento, a concentração de dopantes obtida, empregando-se diborano, é cerca de 10 vezes maior que aquela obtida com arsina. Assinale a alternativa correta:
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A resolução é baseada na análise da figura do slide 9 da videoaula 6: Pode-se ver que a concentração de dopantes obtida com o aumento da temperatura cresce para diborano e cai para arsina e fosfina. Também se observa um ponto de intersecção (mesma taxa de concentração de dopantes) para diborano e arsina quando a temperatura está em torno de 1100oC e que, em torno de 1300oC, a concentração obtida para diborano é dez vezes maior que para arsina (note que a escala de concentração de dopantes é logarítmica).