Uma vez depositada uma camada na superfície de uma lâmina de silício, costumeiramente ela tem algumas partes removidas seletivamente, por meio de um processo conhecido como corrosã

A seletividade é sempre medida como a taxa de corrosão do filme que se deseja corroer em relação a um outro filme no substrato de silício. Assim, independentemente deste outro filme ser o próprio substrato ou o fotorresiste, quanto maior o valor da seletividade, melhor. É interessante observar que a corrosão em banhos químicos (úmida) possui em geral melhor seletividade que a corrosão seca.